Article Dans Une Revue
Applied Surface Sciences Advances
Année : 2023
Pere Roca Cabarrocas : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://polytechnique.hal.science/hal-04310582
Soumis le : lundi 27 novembre 2023-18:30:12
Dernière modification le : mercredi 29 novembre 2023-03:33:55
Citer
Antonio Olivares, A. Zamchiy, V.S. Nguyen, P. Roca I Cabarrocas. Boron activation in silicon thin films grown by PECVD under epitaxial and microcrystalline conditions. Applied Surface Sciences Advances, 2023, 18, pp.100508. ⟨10.1016/j.apsadv.2023.100508⟩. ⟨hal-04310582⟩
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