Article Dans Une Revue
Vacuum
Année : 2023
Pere Roca Cabarrocas : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://polytechnique.hal.science/hal-04310652
Soumis le : lundi 27 novembre 2023-19:02:50
Dernière modification le : mercredi 29 novembre 2023-03:33:55
Citer
Junyang An, Ruiling Gong, Xinyu Li, Ileana Florea, Lise Watrin, et al.. Self-formation of SiGe oxide, Ge, and void multilayers via thermal oxidation of hydrogenated epitaxial SiGe films. Vacuum, 2023, 213, pp.112072. ⟨10.1016/j.vacuum.2023.112072⟩. ⟨hal-04310652⟩
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